高灵敏雪崩型日盲探测器件制备研究
理学院
Fabrication of high-sensitive avalanche solar-blind photodetector
臭氧层对200-280 纳米波长范围内的紫外辐射区有着强烈吸收作用,因此,工作在这一波段的日盲探测技术具有抗环境干扰和全天候工作的特点,是近年来新兴发展起来的军民两用光电探测技术,可应用于臭氧层空洞检测、高压输运线老化电晕检测、森林火情警报、警电网安全监测、船舶破雾引航、海上搜救、生物医疗、紫外通信等众多领域。超宽禁带半导体Ga2O3由于其带宽(Eg=~4.9eV)正好对应日盲区,被认为是一种天生的日盲探测材料,基于Ga2O3材料的日盲探测器件的研发近年来也是国内外研究的热点。目前,针对未来器件高灵敏、高性能的发展趋势,需要发展基于增益率高的雪崩型探测器件。因此,本创新课题利用高真空生长技术,在多种不同导电衬底上制备Ga2O3薄膜,旨在研发新一代高灵敏雪崩型日盲探测器件。